2026年8月31日至9月2日，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備電源領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)——深圳市中電華星電子技術(shù)有限公司（以下簡稱"中電華星"）將攜覆蓋半導(dǎo)體前道晶圓制造、后道封裝與測試共14大類設(shè)備電源解決方案，亮相第十五屆中國（無錫）國際半導(dǎo)體設(shè)備、材料及核心部件博覽會(huì)，展位號(hào)為C1-25。作為國家級(jí)專精特新"小巨人"企業(yè)，中電華星以"全工藝段、全功率段、全應(yīng)用場景"的產(chǎn)品布局，打造目前國內(nèi)最完整的半導(dǎo)體設(shè)備電源整體方案供應(yīng)體系，全面賦能國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備的自主可控與升級(jí)迭代。

扎根高端電源近三十載  國家級(jí)"小巨人"實(shí)力護(hù)航國產(chǎn)半導(dǎo)體

深圳市中電華星電子技術(shù)有限公司創(chuàng)立于2001年3月，總部位于深圳市龍華區(qū)。在"專業(yè)化、精細(xì)化、特色化、新穎化"的四維戰(zhàn)略引領(lǐng)下，中電華星聚焦工業(yè)高可靠電源領(lǐng)域，已形成模塊電源、定制電源、大功率電源及電源系統(tǒng)四大產(chǎn)品族群，累計(jì)獲得70余項(xiàng)核心技術(shù)專利與軟件著作權(quán)，在深圳、上海、北京、成都、大連、杭州、武漢等地設(shè)立服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)，業(yè)務(wù)覆蓋軌道交通、半導(dǎo)體設(shè)備、儲(chǔ)能光伏、無人機(jī)、機(jī)器人、醫(yī)療設(shè)備及數(shù)據(jù)通信等高精尖領(lǐng)域，服務(wù)客戶超過3000家。

公司是國家工業(yè)和信息化部正式認(rèn)定為國家級(jí)專精特新"小巨人"企業(yè)，國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定，公司還先后獲評(píng)深圳市"專精特新"中小企業(yè)、廣東省軌道交通電源工程技術(shù)研究中心、，并于2026年通過IRIS國際鐵路行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)銅級(jí)認(rèn)證，構(gòu)建起涵蓋ISO9001質(zhì)量管理體系、國軍標(biāo)GJB質(zhì)量體系、IRIS22163鐵路行業(yè)國際認(rèn)證的三重標(biāo)準(zhǔn)體系，為半導(dǎo)體高端制造的高可靠電源需求提供堅(jiān)實(shí)體系保障。

14大類設(shè)備電源全覆蓋  重新定義"半導(dǎo)體設(shè)備電源整體方案供應(yīng)商"

本屆展會(huì)，中電華星以"一站式覆蓋半導(dǎo)體全工藝段"為主題，一次性展出覆蓋前道晶圓制造、后道封裝與測試共14大類半導(dǎo)體設(shè)備電源解決方案，是目前國內(nèi)極少數(shù)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體設(shè)備廠提供"一站式"電源配套服務(wù)的廠商，產(chǎn)品矩陣廣度居行業(yè)之首。

在前道晶圓制造領(lǐng)域，中電華星可提供：光刻設(shè)備電源（配套光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備，覆蓋光源、工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)、光學(xué)溫控、控制及真空子系統(tǒng)全鏈路電源需求）；刻蝕設(shè)備電源（面向ICP/CCP等離子體刻蝕機(jī)，提供射頻電源、偏壓電源、ESC靜電卡盤電源、MFC氣體流量控制器、真空系統(tǒng)、等關(guān)鍵負(fù)載的完整供電方案）；薄膜沉積設(shè)備電源；離子注入設(shè)備電源；清洗設(shè)備電源；熱處理設(shè)備電源；CMP拋光設(shè)備電源；量測檢測設(shè)備電源。

在后道封裝與測試領(lǐng)域，中電華星同樣構(gòu)建了完整矩陣：劃片/減薄設(shè)備電源；鍵合設(shè)備電源；塑封/電鍍設(shè)備電源；測試機(jī)ATE設(shè)備電源；分選機(jī)Handler設(shè)備電源（配套測試后自動(dòng)分檔）；探針臺(tái)Prober設(shè)備電源。

從光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、清洗、熱處理、CMP拋光、量測檢測，到后道封裝、測試——半導(dǎo)體設(shè)備全工藝段的電源需求，中電華星均可一站式滿足，真正以"產(chǎn)品最全的半導(dǎo)體設(shè)備電源整體方案供應(yīng)商"姿態(tài)領(lǐng)跑行業(yè)。

聚焦刻蝕、光刻兩大核心工藝  關(guān)鍵負(fù)載供電規(guī)格全公開

展會(huì)期間，中電華星重點(diǎn)展出了刻蝕機(jī)和光刻機(jī)兩大關(guān)鍵工藝設(shè)備的負(fù)載供電規(guī)格，充分體現(xiàn)公司在高端電源領(lǐng)域的技術(shù)深度與工程能力。

刻蝕機(jī)關(guān)鍵負(fù)載供電規(guī)格：射頻電源（RF Generator）支持380V AC轉(zhuǎn)13.56MHz RF，單臺(tái)功率覆蓋3-10kW，紋波小于0.1%，滿足等離子體源對(duì)紋波嚴(yán)苛要求；偏壓電源（Bias RF）功率0.2-2kW，用于控制離子轟擊能量；靜電卡盤（ESC）電源提供高壓DC+1500V，約150W，實(shí)現(xiàn)晶圓靜電吸附的高/低壓低功耗控制；氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）采用24V DC，單路約10W，實(shí)現(xiàn)工藝氣體精確配比。

光刻機(jī)關(guān)鍵負(fù)載供電規(guī)格：光源電源面向ArF準(zhǔn)分子激光器，380VAC轉(zhuǎn)高壓DC脈沖放電驅(qū)動(dòng)，約40kW（ArF機(jī)型），脈沖穩(wěn)定度<0.1%；光學(xué)溫控面向投影透鏡組Peltier精密控溫，220VAC轉(zhuǎn)24V DC的TEC驅(qū)動(dòng)電源，約15kW持續(xù)運(yùn)行，溫度穩(wěn)定度+0.01℃；控制系統(tǒng)面向工控機(jī)/傳感器對(duì)準(zhǔn)與調(diào)平調(diào)焦，220V AC轉(zhuǎn)24/5V DC多路DC輸出，約8kW。

上述規(guī)格參數(shù)顯示，中電華星已經(jīng)深度參與到半導(dǎo)體設(shè)備核心子系統(tǒng)的電源設(shè)計(jì)之中，其產(chǎn)品在功率密度、紋波、穩(wěn)定度、可靠性等關(guān)鍵指標(biāo)上已達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平，可為國產(chǎn)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)的迭代升級(jí)提供堅(jiān)實(shí)電力保障。

三大核心優(yōu)勢  樹立半導(dǎo)體設(shè)備電源新標(biāo)桿

極致可靠：公司電源產(chǎn)品平均無故障工作時(shí)間（MTBF）普遍超過5萬小時(shí)，關(guān)鍵產(chǎn)品達(dá)12萬小時(shí)；部分控制板卡專用電源通過通過TUV、UL、CE、TLC國際安規(guī)認(rèn)證；電磁兼容性能滿足IEC 61000-4系列嚴(yán)苛抗擾度要求，全面滿足半導(dǎo)體設(shè)備7×24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)對(duì)電源可靠性的極致要求。

高功率密度與高效率：CA2209K-60整流模塊功率密度高達(dá)54W/in3，整機(jī)效率達(dá)97%以上；CAM2500系列AC-DC智能監(jiān)控電源效率超過90%；LF4000-H60-800V無人機(jī)機(jī)載DC-DC電源峰值效率達(dá)97%，重量≤1kg，MTBF超10萬小時(shí)；CES系列4300W工業(yè)電源效率達(dá)96%，配備智能溫控與狀態(tài)監(jiān)測功能。

智能互聯(lián)與定制化：全系列產(chǎn)品支持I2C/PMBUS/RS485/CAN等通信接口，配備輸入過壓、欠壓、過流、短路、過溫等多重硬件保護(hù)，具備遠(yuǎn)程監(jiān)控、參數(shù)調(diào)節(jié)及系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)管理能力。公司提供OEM/ODM定制服務(wù)，可根據(jù)客戶需求定制充電曲線、通信協(xié)議、外形尺寸、標(biāo)簽及認(rèn)證；配備7×24小時(shí)全時(shí)響應(yīng)、12城服務(wù)站、AR遠(yuǎn)程指導(dǎo)等智能服務(wù)體系，實(shí)現(xiàn)"10分鐘響應(yīng)-4小時(shí)方案-48小時(shí)現(xiàn)場閉環(huán)"的極速服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)。

與中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)同頻共振

中電華星市場部相關(guān)人員表示，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化已進(jìn)入"深水區(qū)"，設(shè)備電源作為裝備"心臟"，其性能與可靠性直接決定整機(jī)的工藝水平和產(chǎn)線良率。本屆展會(huì)，中電華星以"產(chǎn)品最全的半導(dǎo)體設(shè)備電源整體方案供應(yīng)商"姿態(tài)亮相，既是近三十年高端電源技術(shù)積淀的集中呈現(xiàn)，也是公司助力國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的鄭重承諾。

未來，中電華星將繼續(xù)秉承"以技術(shù)見長、以品質(zhì)立信"的經(jīng)營理念，圍繞半導(dǎo)體設(shè)備、軌道交通、儲(chǔ)能光伏等高精尖領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作伙伴攜手，共同推動(dòng)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新高度。

深圳市中電華星電子技術(shù)有限公司亮相第十五屆中國（無錫）國際半導(dǎo)體設(shè)備、國際半導(dǎo)體設(shè)備、材料及核心部件博覽會(huì)C1-25展位，現(xiàn)場體驗(yàn)中誠邀業(yè)界同仁蒞臨2026年8月31日至9月2日舉辦的第十五屆中國（無錫電華星全系產(chǎn)品矩陣，共同探討半導(dǎo)體設(shè)備電源的國產(chǎn)化未來。

關(guān)于中電華星

深圳市中電華星電子技術(shù)有限公司成立于2001年，是國家級(jí)專精特新"小巨人"企業(yè)、國家高新技術(shù)企業(yè)、廣東省軌道交通電源工程技術(shù)研究中心。公司專注工業(yè)高可靠電源研發(fā)近三十年，聚焦半導(dǎo)體設(shè)備、軌道交通、儲(chǔ)能光伏、機(jī)器人、無人機(jī)、醫(yī)療設(shè)備等高精尖領(lǐng)域，致力于為客戶提供從模塊電源、定制電源到大功率電源系統(tǒng)的整體解決方案。更多信息請?jiān)L問公司官網(wǎng)或關(guān)注官方微信公眾號(hào)"中電華星"。